[Новости Россия]: Запатентован способ глубокой очистки нанопорошка для микроэлектроники
[Новости Россия]: Запатентован способ глубокой очистки нанопорошка для микроэлектроники В ННГУ сообщили, что разработка позволяет определять возможность использования частиц в производстве микросхем https://tass.ru/nauka/28221171