Ионно-лучевая литография во многом превосходит классическую фотолитографию, включая воз...
Ионно-лучевая литография во многом превосходит классическую фотолитографию, включая возможность выпускать чипы с намного меньшими технологически нормами, но серьёзно уступает ей в одном — в скорости производственных операций. Китайцы, если верить свежим новостям, смогли в сотни раз ускорить обработку кремниевых пластин с помощью ионно-лучевой литографии, особенно продвинувшись в сфере фотонных чипов. https://3dnews.ru/1145455/kitaytsi-v-sto-raz-uskorili-proizvodstvo-fotonnih-chipov-metodom-ionnoluchevoy-litografii
178 просмотров