В России создана установка электронно-лучевой литографии для изготовления фотошаблонов ...
В России создана установка электронно-лучевой литографии для изготовления фотошаблонов и формирования рисунка на подложках без использования маски. Оборудование с проектными нормами 150 нм разработал Зеленоградский нанотехнологический центр, сейчас опытные образцы проходят испытания. https://www.cnews.ru/news/top/2026-07-20_v_rossii_sozdana_ustanovka
176 просмотров