Российские инженеры начали разработку первого отечественного кластерного оборудования д...
Российские инженеры начали разработку первого отечественного кластерного оборудования для напыления металла. За проект взялись НИИТМ и НИИМЭ, которые входят в группу «Элемент». Машина получит 8 модулей и позволит выпускать микросхемы с топологией от 90 до 180 нанометров. Диаметр пластин составит 200 миллиметров. Это серьёзный шаг для всей микроэлектроники страны. https://www1.ru/news/2026/03/30/8-modulei-i-90-nanometrov-rossiia-zapuskaet-svoe-oborudovanie-dlia-cipov.html