МГТУ им. Н.Э. Баумана и ФГУП "ВНИИА" открыли прием заявок на первый контрактный запуск ...
МГТУ им. Н.Э. Баумана и ФГУП "ВНИИА" открыли прием заявок на первый контрактный запуск производства фотонных интегральных схем в формате MPW с разделением площади пластин между разными заказчиками; пилотный запуск для российских научных групп будет полностью профинансирован университетом. В рамках пилотного запуска планируется изготовить фотонные интегральные схемы на основе волноводов из нитрида кремния с толщиной волноводного слоя 220 нм, минимальным размером элементов 70 нм и минимальными зазорами 200 нм. Минимальная доступная площадь кристалла составит 5х5 мм , при необходимости она может быть увеличена. Для внешних заказчиков выделят до 100 кристаллов с индивидуальными топологиями в формате GDS. https://tass.ru/nauka/26822491
452 просмотров