🔬ГК «Научное оборудование» выступила участником и партнёром конференции по теме будуще... — 18 февраля 2026 г. в 16:05:00.612
🔬ГК «Научное оборудование» выступила участником и партнёром конференции по теме будущего российской литографии В Новосибирском государственном университете (НГУ) состоялась первая конференция-семинар «Физические проблемы технологии рентгеновской литографии». В ней приняли участие ведущие научные и образовательные организации РФ, институты РАН, промышленные предприятия микроэлектронной отрасли и высокотехнологичный бизнес. В ходе мероприятия организаторы-участники выступили с ключевыми докладами, охватывающими химико-физические основы, материаловедческие аспекты, топологическое проектирование, источники синхротронного излучения (СИ) и метрологическое обеспечение литографических процессов. Результатами встречи стало предложение о создании альтернативного, технологически суверенного подхода к литографии для задач специальной микроэлектроники, радиофотоники, мембранных технологий, биотехнологий и элементной базы квантовых компьютеров. Проект включает в себя разработку и внедрение в РФ промышленно-применимой технологии рентгеновской литографии на синхротронном излучении с длиной волны 7Å, обеспечивающей создание элементной базы с топологическими нормами 2 нм и ниже. Для реализации такого масштабного проекта потребуется сформировать объединённые рабочие группы и заявки на финансирование научных исследований по тематике рентгеновской литографии. Проект планируется осуществить при поддержке представителей РАН, РНФ, Миннауки РФ, Госкорпораций и промышленных предприятий.