ЭСТО испытала вакуумный столик для удержания кремниевых пластин
ЭСТО испытала вакуумный столик для удержания кремниевых пластин Электростатические столы (столы с электростатическим удержанием) применяются в вакуумных установках, задействованных в процессе производства микросхем. Их основное назначение — бесконтактное, за счет статического электричества, удержание пластины с полупроводниковыми структурами При таком способе удержания пластина не царапается, не скалывается и не загрязняется в процессе обработки. Кроме того, она дополнительно охлаждается с обратной стороны гелием. Такое охлаждение необходимо, например, при удалении фоторезиста Раньше подобные столики российские производители микросхем закупали за рубежом. Теперь у них появляется выбор — АО НПП ЭСТО готово производить свою разработку серийно, что должно снизить зависимость от импорта. В разработке принимало участие также ООО «ЭСТИКА» Модель SPTS 150 мм испытали как на стенде производителя, а затем у заказчика в составе установки SPTS VPX ICP на операции удаления фоторезиста Ключевым компонентом конструкции является электростатический электрод из вакуумплотной керамики ВК-94. Основные элементы изготовлены в России из отечественных материалов Проект реализован при содействии Московского фонда поддержки промышленности и предпринимательства (МФППиП). Фонд, в частности, помог компенсировать проценты по инвестиционному кредиту В ЭСТО работает сильная инженерная команда — более 120 специалистов, включая конструкторов, технологов, специалистов в области электроники и программистов. Компания занимается не только разработкой и выпуском оборудования, но и его обслуживанием Первое изделие уже задействовали в составе импортного оборудования, компания активно занимается сбором портфеля заказов 📸 ЭСТО