Научно-исследовательский институт точного машиностроения (НИИТМ, входит в ГК «Элемент»)... — 6 августа 2026 г. в 11:13:00.143
Научно-исследовательский институт точного машиностроения (НИИТМ, входит в ГК «Элемент») изготовил и поставил заказчику установку эпитаксии из твёрдого источника «Эписэнд ТМ». Такие установки используются в производстве полупроводниковых приборов — основы для создания чипов и силовой электроники. Оборудование необходимо для выращивания эпитаксиальных структур. Его используют для нанесения сверхтолстых слоёв поликристаллического кремния методом так называемой «сэндвич»-эпитаксии. Установка обеспечивает индукционный ВЧ-нагрев до 1300 градусов Цельсия. Она способна одновременно обрабатывать до четырёх пластин диаметром 100 мм. Двухпозиционная система загрузки рассчитана на две лодочки с графитовыми платформами. Разработка собственного оборудования для эпитаксии — важный шаг на пути к технологической независимости российской микроэлектроники, отметили в компании. НИИТМ в том числе ведёт разработки в рамках комплексной программы «Развитие электронного машиностроения до 2030 года». Подобное оборудование производят лишь несколько стран мира, а поставки в Россию ограничены санкциями. Появление отечественных установок снижает зависимость от зарубежных поставщиков. В ГК «Элемент» намереваются заместить собственными разработками до 70% критически важного оборудования, где количество поставщиков ограничено одним-двумя производителями из недружественных стран. 📸 НИИТМ Telegram | Дзен | MAX | VK