Структура «Росатома», АО «НИИ НПО «ЛУЧ» , разработает установку контроля ионного легиро... — 15 июля 2026 г. в 15:50:34.057
Структура «Росатома», АО «НИИ НПО «ЛУЧ» , разработает установку контроля ионного легирования для полупроводниковых пластин за 1,35 млрд рублей Речь идет об ОКР «Контроль-ИИ» — создании автоматизированной установки контроля процесса ионного легирования в структурах полупроводниковых пластин диаметром до 200 мм. Установка должна заменить американское оборудование KLA-Tencor (модели ThermaProbe TP500 и TP630). Эти системы используются для контроля доз легирования — ключевого процесса внедрения примесей в полупроводниковые пластины для создания транзисторов и диодов. Искусственный интеллект используется д ля автоматического распознавания топологического рисунка на продуктовых пластинах, построения калибровочных кривых и расчета уровня имплантационной дозы. Критические комплектующие: оптический стол, источники лазерного излучения, фоточувствительные детекторы, механизмы загрузки и позиционирования должны быть российского производства. Работы по ОКР должны быть выполнены до октября 2029 г. Подробнее: https://www.cnews.ru/news/top/2026-07-07_dochka_rosatoma_poluchit #новостиэлектроники