Российский стартап разработал проект многолучевого электронного литографа для производс... — 5 августа 2026 г. в 03:22:40.999
Российский стартап разработал проект многолучевого электронного литографа для производства современных микросхем Для него уже создана и испытана ключевая технология — мультикатод, позволяющий формировать сразу множество электронных лучей. Благодаря этому установка сможет экспонировать кремниевую пластину всего за 5–7 минут — примерно в 3 тыс. раз быстрее традиционных однолучевых электронных литографов. Разработчики рассчитывают, что новое решение позволит конкурировать с зарубежными аналогами на российском рынке и укрепить позиции страны в сфере микроэлектроники. главным преимуществом технологии перед существующими многолучевыми решениями стал способ формирования самих электронных источников. В отличие от зарубежных систем, использующих сложные схемы расщепления одного луча с большим количеством зеркал и оптических затворов, российская разработка создает сразу множество независимых источников электронов на единой подложке. Это позволяет существенно снизить требования к инженерной инфраструктуре, энергопотреблению и стоимости оборудования. Разработчики рассчитывают, что при запуске проекта первый опытный образец литографа может быть создан примерно через три года. В дальнейшем технология, по их оценке, сможет использоваться для производства микросхем с различными технологическими нормами — от традиционных 350 нм до перспективных процессов с топологией в несколько нанометров. При этом, как отмечает команда проекта, предельное разрешение сегодня определяется прежде всего характеристиками применяемых фоторезистов, а не возможностями самого источника электронного пучка. Подробнее: https://iz.ru/2143552/anton-belyi/rossijskij-litograf-uskorit-proizvodstvo-mikroskhem-v-3-tys-raz #новостиэлектроники