ТРАВИМ ПОМАЛУ — 28 июня 2026 г. в 04:41:01.087
ТРАВИМ ПОМАЛУ Минпромторг (МПТ) направит около 1,4 млрд руб. (около $18,5 млн) на разработку отечественного оборудования жидкостной химической обработки (т. н. "травления", ВЦ!) кремниевых пластин для микроэлектроники (МКЭ). Тендер на опытный образец – на портале госзакупок. Критические узлы, включая ротор, систему подачи химии, контроллер, ПО и др., должны быть отечественными, следует из документации. Использование импортных комплектующих допускается по согласованию с заказчиком и при наличии обоснования. МПТ ожидает, что целиком установка будет готова к ноябрю 2029-го. Исполнитель по закупке определен 19 июня, но скрыт в системе закупок. Разрабатываемая автоматизированная линия позволит выполнять травление, очистку и сушку пластин диаметром до 100, 150 и 200 мм в составе серийных техпроцессов. Установка призвана заменить американские и японские аналоги на российских производствах. Жидкостное травление происходит посредством опрыскивания поверхности пластины химраствором. Подобные установки нужны для быстрого удаления толстых слоев материалов, очистки от органических загрязнений и избирательного вытравливания остатков без создания дополнительных дефектов. Как правило, жидкостное травление применяют на черновых операциях в крупносерийном производстве. На более точных этапах используют плазмохимическое (сухое) травление: в вакуумной камере под действием газов происходит вертикальное травление вглубь для формировать микроскопических структуры высокой точности. Плюсы жидкостного метода – относительная дешевизна оборудования и простота организации серийного процесса. ВАШУ ЦИФРУ! Из сообщения уважаемой газеты видим, что создают очередную западную копию для старых умирающих МКЭ-заводов. Делают то, за что могут отчитаться (картинка), а не что нужно стране сейчас – оригинальное техопережение в МКЭ. Жидкостная отмывка и травление – грубый процесс, для тонких норм (даже 60-28 нм) в мире его не используют. В июне МПТ разместил несколько закупок на ОКР по МКЭ. Всего ведомство планирует выделить около 7,6 млрд руб. на замещение химикатов для литографии, установки молекулярно-лучевой эпитаксии, оборудования для контроля процесса ионного легирования и сканирующего электронного микроскопа. В 2025-м объем производства МКЭ-оборудования вроде как достиг 5,32 млрд, в 2024-м – 4,93 млрд, а в 2023-м – 2,93 млрд руб. – по оценке директора департамента станкостроения и тяжелого машиностроения МПТ Валерий Пивень на конференции Союзного государства "Электронное машиностроение – 2026". Это – рывок для отрасли, которой в РФ практически не было, добавил он. По словам чиновника, объем выпуска материалов и споборудования для производства российской РЭП в 2026-м может вырасти почти на 5% – до 5,58 млрд руб.