Подольский НИИ «Луч» (Росатом) получил контракт на 1,35 млрд руб. на создание установки... — 16 июля 2026 г. в 09:03:03.034
Подольский НИИ «Луч» (Росатом) получил контракт на 1,35 млрд руб. на создание установки для контроля ионного легирования полупроводниковых пластин, заменив американские системы KLA-Tencor ThermaProbe TP500 и TP630 Установка будет использовать ИИ для распознавания топологических рисунков, построения калибровочных кривых и расчета дозы имплантации, повышая точность и автоматизируя операции. Работы завершатся к октябрю 2029 года.
196 просмотров