LG запустила продажи установок лазерной литографии без фотошаблонов — 29 июля 2026 г. в 12:10:49.465
LG запустила продажи установок лазерной литографии без фотошаблонов LG начала поставлять коммерческие системы лазерной литографии LDI, которые формируют схемы на пластинах без применения дорогих фотошаблонов. Установка использует 405-нм ультрафиолетовый лазер и массив микрозеркал DMD, позволяя выжигать элементы размером от 1,5 до 3 мкм напрямую на подложке. Главное новшество — система компенсации Real-Time Active Compensation. Она на ходу устраняет деформацию материалов, позволяя работать с заготовками размером до 600 × 600 мм. Технологию планируют применять в продвинутой упаковке чипов и производстве памяти HBM для ИИ-ускорителей.
2 046 просмотров