💁♂️ В России создан опытный образец установки электронно-лучевой литографии (ЭЛЛ), пр... — 22 июля 2026 г. в 15:00:08.218
💁♂️ В России создан опытный образец установки электронно-лучевой литографии (ЭЛЛ), предназначенной для производства фотошаблонов и прямого формирования рисунка на кремниевых пластинах по технологическим нормам 150 нм. Разработка принадлежит Зеленоградскому нанотехнологическому центру (ЗНТЦ) и реализуется в рамках государственной программы развития отечественной микроэлектроники. 💁🏼♀️ Хотя такой техпроцесс уже давно не относится к передовым, подобное оборудование остаётся востребованным для научных исследований, создания опытных образцов микросхем и выпуска специализированной электроники небольшими партиями. Сейчас установка проходит комплексные испытания, после которых специалисты приступят к проверке точности формирования элементов и других ключевых характеристик. 🖥 Полный вариант статьи на нашем сайте