Как удержать кремниевую пластину, не прикасаясь к ней?
Как удержать кремниевую пластину, не прикасаясь к ней? При производстве микроэлектроники полупроводниковая пластина должна быть надежно зафиксирована внутри технологического оборудования. При этом использовать обычные механические зажимы нельзя: они могут мешать обработке поверхности и влиять на стабильность технологического процесса. Для этого применяют электростатические столы — специальные устройства, которые удерживают пластину за счет электростатической силы и обеспечивают ее тепловой контакт с системой охлаждения. ✅ При поддержке Российского научного фонда специалисты АО «НПП «ЭСТО» разрабатывают отечественную серию таких столов для вакуумного оборудования микроэлектронного производства технологического заказчика — АО «Зеленоградский нанотехнологический центр». Один из разработанных столов уже установлен на действующем оборудовании SPTS CPX Pegasus у заказчика и прошел проверку в штатном технологическом процессе. Полученные показатели соответствуют целевым значениям, а изделие продолжает эксплуатироваться. Как работает электростатический стол? Почему без него невозможно стабильное производство микроэлектроники и удалось ли создать отечественные аналоги востребованных компонентов? 💬 На эти и другие вопросы в рубрике #микроэлектроникаРНФ отвечает Данил Челапкин, первый заместитель генерального директора АО «НПП «ЭСТО», грантополучатель РНФ. 🔬 РНФ | Телеграм | MAX | ВКонтакте #новости_Фонда #микроэлектроникаРНФ #ФорумМикроэлектроника