«Росатом» запустил производство соединений фосфора для микроэлектроники
«Росатом» запустил производство соединений фосфора для микроэлектроники НИИ НПО «ЛУЧ» и «Гиредмет» в рамках программы Минпромторга России «Развитие электронного машиностроения на период до 2030 года» создали импортозамещающее производство особо чистых красного фосфора и оксихлорида фосфора. Эти вещества критически важны для производства компонентов (чипов, транзисторов, диодов, интегральных схем) на фабриках микроэлектроники. «Ранее Россия импортировала более 80 % материалов, которые нужны для выпуска чипов, в том числе красный фосфор и оксихлорид фосфора. Современные требования к содержанию основного вещества красного фосфора для ионной имплантации – 99,9999 %. Производство красного фосфора такой чистоты организуется в России впервые», — отметил директор по научным государственным программам «Росатом Науки» Иван Мазилин.