Tech Debunker (тесты гаджетов и инструмента, фейки, распродажи)
IT и технологии · 24 июня 2026 г.
Почему мы или китайцы не можем сделать литограф для техпроцессов 2-5 нм — 24 июня 2026 г. в 14:29:19.795
Почему мы или китайцы не можем сделать литограф для техпроцессов 2-5 нм Приведу немного фактов, которые меня, по основному образованию разработчика электроники, шокируют. Для техпроцессов 5 нм и менее используются EUV-литографы, работающие на длине волны 13,5 нм. Их строит единственная компания – ASML. Литографы предыдущих поколений работают с длинами волн 193 нм (почувствуйте разницу). И вот тут начинается: 1. В природе нет готовых источников излучения с такой длиной волны. Для его получения используется олово, которое при смене агрегатного состояния на плазму излучает нужный спектр. 2. Для получения плазмы олово распыляют в потоке каплями размером 25 мкм. По ним бьет луч лазера, чтобы сначала придать им плоскую форму. Следующий мощный удар луча переводит плоские капли в плазму температурой 220000 градусов (на поверхности Солнца ~5700 град.). 3. EUV-излучение поглощается всеми веществами. Для его направления нельзя использовать оптику. Используют вогнутые зеркала Брэгга из молибдена и кремния. Геометрия должна быть идеальной. Шлифовка зеркал ионными пучками иногда занимает до двух лет. 4. Чтобы остатки олова не оседали на зеркалах, их обдувают водородом, но все равно это расходник. 5. Для получения 200-ваттного излучения EUV нужно потратить 0,5 МВт, а весь литограф потребляет 1,3 МВт*ч. Плюс еще холодная вода – 1600 литров в мин. Предыдущее поколение литографов потребляло 130 кВт*ч. 6. Позиционируются кремниевые пластины с точностью до 60 пм (меньше атома кремния) поэтому столик с ней удерживается магнитной левитацией и перемещается 20 тыс. раз в сек. с перегрузкой до 7g. Это нужно, чтобы машина могла обрабатывать до 170 пластин в час. 7. Разработка литографа потребовала ~пары десятков лет работы тысяч инженеров и ~пары десятков миллиардов долларов. В производстве задействована сеть из 800 поставщиков. ASML заявляет, что ни один из ее сотрудников до конца не понимает, как работает эта машина. P.S. Выращивание одной пластины с кристаллами чипов занимает примерно 2-4 месяца. На фото в посте – он. И это лишь один из элементов конвейера. @Tech_Debunker #ликбез