В РОССИИ СОЗДАЛИ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОЙ ЛИТОГРАФ ДЛЯ ПЕЧАТИ ЧИПОВ — 23 июля 2026 г. в 05:45:01.899
В РОССИИ СОЗДАЛИ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОЙ ЛИТОГРАФ ДЛЯ ПЕЧАТИ ЧИПОВ Зеленоградский нанотехнологический центр создал установку электронно-лучевой литографии для изготовления фотошаблонов и формирования рисунка на подложках без использования масок по нормам 150 нм. Одним из основных применений электронно-лучевой литографии является изготовление фотошаблонов. Фотошаблон представляет собой стеклянную подложку с непрозрачным рисунком будущей микросхемы и используется в фотолитографическом оборудовании для многократного переноса этого рисунка на кремниевые пластины и соответственно массового производства чипов. Кроме того, электронно-лучевая литография позволяет формировать рисунок непосредственно на подложке без использования фотошаблонов — буквально печатать чипы на пластинах. Два опытных образца системы ЭЛЛ проходят комплексные испытания. После этого начнутся испытания на точность формирования изображения и другие технологические параметры. Разработка ведется в рамках госпрограммы «Научно-технологическое развитие РФ». Источник: ЗНТЦ #времявперёд!