РОССИЯ ЗАПУСКАЕТ ЛИТОГРАФЫ В СЕРИЮ
РОССИЯ ЗАПУСКАЕТ ЛИТОГРАФЫ В СЕРИЮ Первый серийный российский литограф, позволяющий производить чипы по нормам 350 нм, планируют передать заказчику в декабре 2026 года. Первой установку получит компания «Маппер», входящая через холдинг «Швабе» в Ростех. Следующая серийная машина предназначена для компании «Отраслевые решения» группы «Элемент». Отечественная машина разработана Зеленоградским нанотехнологическим центром. Разрешение 350 нм востребовано при выпуске силовой и автомобильной электроники, а также компонентов для промышленного оборудования. Установку ЗНТЦ разработал совместно с белорусской компанией «Планар». Она получила рабочее поле 22 х 22 мм, поддерживает пластины диаметром до 200 мм и использует твердотельный лазер вместо традиционной ртутной лампы. Такой источник излучения должен обеспечить более высокую мощность и энергоэффективность. Производительность литографа достигает 63 пластин диаметром 150 мм в час. При работе с 200-миллиметровыми пластинами установка способна обрабатывать до 43 пластин в час. Источник: Cnews #времявперёд!