Издательство «ТЕХНОСФЕРА» представляет новую серию книг «МИР микроэлектроники»
Издательство «ТЕХНОСФЕРА» представляет новую серию книг «МИР микроэлектроники» Проект призван стать системным навигатором по современным технологиям интегральных схем и полупроводниковых приборов – от основ технологических процессов и работы высокоточного оборудования до проектирования и изготовления фотошаблонов. Авторами серии выступят ведущие специалисты российской микроэлектроники. В рамках проекта будет раскрыта эволюция технологий ИС от микро- к наноэлектронике с самыми современными проектными нормами, рассмотрены ключевые этапы производства СБИС, включая литографию, методы моделирования технологических процессов и проектирования с использованием САПР. Первой книгой серии станет труд д.т.н., профессора Н.А. Шелепина «Технологии КМОП интегральных схем. Часть 1. От возникновения до нанометровых размеров элементов». В издании описаны технологические маршруты производства КМОП ИС – от периода становления до глубокосубмикронных и нанометровых транзисторов, с акцентом на конструктивно-технологические методы, обеспечившие масштабирование элементов. https://www.technosphera.ru/news/12603