Маленький шаг для ФИЦ ПХФ и МХ РАН, важный этап для микроэлектроники
Маленький шаг для ФИЦ ПХФ и МХ РАН, важный этап для микроэлектроники С 2025 года ФИЦ ПХФ и МХ РАН разрабатывает и выпускает отечественные материалы для микроэлектроники. 1 и 2 октября на форуме «Микроэлектроника 2026» сотрудники Центра представили результаты работы и рассказали о дальнейших планах. Заведующий отделом полимеров и композиционных материалов, кандидат химических наук Георгий Малков рассказал, что сначала Центр занимался научным сопровождением разработок и воспроизведением иностранных аналогов. Теперь ученые переходят к собственным технологиям и обеспечению потребителей материалами и компонентами. При поддержке Минобрнауки России модернизируется площадка опытно-промышленного производства: основной цех уже отремонтирован, заказано более 40 единиц оборудования, готовятся чистые производственные помещения. Собственное производство связывает исследования с потребностями предприятий. Требования к материалам определяют задачи синтеза и очистки, а испытания помогают дорабатывать составы. В дальнейшем Центр планирует выпускать готовые материалы и исходные компоненты для них. Четыре материала для корпусирования микросхем В Центре налажен серийный выпуск четырех составов для корпусирования микросхем. О них рассказал руководитель опытно-производственного участка, старший научный сотрудник, кандидат технических наук Кирилл Пахомов. Герметизирующий состав Г-001 формирует защитный корпус кристалла, заливочный З-001 заполняет зазор между кристаллом и подложкой, повышая прочность сборки и улучшая теплоотвод. Смазывающий состав С-001 снижает прилипание материала к металлу, а очищающий О-001 удаляет остатки предыдущих материалов и предотвращает перенос загрязнений. Материалы испытали на производстве Зеленоградского нанотехнологического центра, а также на предприятиях «Ангстрем», GS Nanotech и «ВЗПП-С». Готовые изделия исследовали рентгеновским и ультразвуковым методами, проверяя наличие пустот и расслоений. По итогам испытаний составы доработали. Для всех материалов разработали технические условия и подтвердили соответствие опытных партий требованиям. Контроль качества материалов Владимир Курбатов и Татьяна Пугачева изучили меламинофенолформальдегидную смолу, которая служит связующим очищающего состава. Увеличение доли формальдегида повышало реакционную способность смолы, но сокращало срок хранения и снижало текучесть материала. При хранении смола могла превратиться в твердую нерастворимую массу. Поэтому при подборе рецептуры учитывают скорость отверждения, текучесть и сохранность материала.