Investigation of tantalum films growth for coplanar resonators with internal quality fa... — 6 августа 2026 г. в 08:00:06.103
Investigation of tantalum films growth for coplanar resonators with internal quality factors above ten million ➡️ Как получить танталовые резонаторы с добротностью выше десяти миллионов? Авторы исследовали рост α-танталовых плёнок на различных подложках для создания высококогерентных сверхпроводящих квантовых схем. Работа показывает, что ключевую роль в выборе фазы при росте танталовой плёнки играет температура Дебая материала подложки, а не только температура самой подложки, как предполагалось ранее. Важный результат исследования — подтверждение того, что α-Ta начинает формироваться только после появления β-Ta подслоя толщиной 7–10 нм. Для α-танталовых плёнок общей толщиной от 20 до 150 нм критическая температура изменялась от 3,77 до 4,39 K. На основе полученных плёнок авторы изготовили компактные танталовые копланарные резонаторы на кремнии и продемонстрировали внутренний фактор качества выше 10 × 10⁶ при однофотонных мощностях возбуждения. Это важно для развития элементной базы сверхпроводящих квантовых устройств. 🧬 НОЦ «ФМНС» 🧬 Applied Physics Reviews | Топ 5% по SNIP 🧬 doi.org/10.1063/5.0308010 📚Для цитирования: Zikiy E.V., Smirnov N.S., Krivko E.A., Matanin A.R., Ivanov A.I., Malevannaya E.I., Polozov V.I., Bukatin S.V., Baklykov D.A., Stepanov I.A., Kotenkov S.A., Bychkov S.P., Fokin D.A., Ryzhikov I.A., Andriyash A.V., Rodionov I.A. Investigation of tantalum films growth for coplanar resonators with internal quality factors above ten million. Applied Physics Reviews 2026;13(2):021418. https://doi.org/10.1063/5.0308010 #публикация #tantalum_films #coplanar_resonators #superconducting_qubits #quantum_circuits #thin_film_growth #internal_quality_factor #applied_physics Научные публикации | Бауманка