Россия строит суверенную линейку оборудования для производства чипов вместе с белорусами — 23 июля 2026 г. в 15:15:14.781
Россия строит суверенную линейку оборудования для производства чипов вместе с белорусами Россия и Белоруссия объединили усилия для создания линейки оборудования для производства фотошаблонов и фотолитографии. В кооперации с белорусским ОАО «Планар» разрабатываются девять установок, которые должны закрыть критически важные звенья в технологической цепочке производства чипов. Согласно презентации директора департамента станкостроения Минпромторга Валерия Пивеня, совместные проекты с ОАО «Планар» охватывают практически всю технологическую цепочку производства фотошаблонов: от создания рисунка на фотошаблоне до контроля его дефектов. Фотошаблон — это стеклянная пластина с рисунком топологии микросхемы, которая используется в фотолитографии как «негатив» для переноса изображения на кремниевую пластину. В перечень разработок входят генератор изображений на фотошаблонах для техпроцессов 90–65 нм («Процесс ГИФ», 2025 г.), установка контроля топологии на фотошаблонах для тех же норм («Процесс КТФ», 2024 г.). В 2026 г. запланировано создание сразу нескольких установок: переноса меток совмещения на обратную сторону пластины («Прогресс-Перенос»), контроля координат топологических элементов («Прогресс-Контроль»), лазерного устранения дефектов («Прогресс-Ретушь») и контроля привносимой дефектности («Прогресс-КДПП»). На 2027 г. запланирована установка контроля полутоновых маскирующих покрытий («Прогресс ПМП»). Также Россия и Белоруссия совместно работают над созданием фотолитографов на 350 и 130 нм. Нынешний проект расширяет сотрудничество на другие, не менее критичные типы оборудования для производства фотошаблонов. Подробнее: https://www.cnews.ru/news/top/2026-07-22_rossiya_i_belarus_sovmestno