В НИИТМ разработали компактную версию установки Эпиквар ТМ — Эпиквар ТМ Мини
В НИИТМ разработали компактную версию установки Эпиквар ТМ — Эпиквар ТМ Мини Новая разработка также предназначена для изготовления эпитаксиальных структур и осаждения поликремния на пластины диаметром 76 и 100 мм и рассчитана на задачи мелкосерийного производства и проведение научных исследований Среди основных особенностей Эпиквар ТМ Мини — уменьшенные габариты и масса установки, сниженное энергопотребление не более 80 кВт, что позволяет сократить себестоимость производства, а также более доступная стоимость по сравнению с Эпиквар ТМ Установка Эпиквар ТМ Мини позволяет обрабатывать одновременно 24 пластины диаметром 76 мм или 12 пластин диаметром 100 мм. Диапазон рабочих температур от 300 до 1250 ºС. Оборудование позволяет проводить технологический процесс как в автоматическом, так в ручном режиме 📸 VK Макс | Телеграм