В ЗНТЦ займутся разработкой опытного образца сканирующего электронного микроскопа для к...
В ЗНТЦ займутся разработкой опытного образца сканирующего электронного микроскопа для контроля чипов Информация о поставщике услуг появилась на сайте госзакупок. Сумма контракта — 2,37 млрд рублей. Срок исполнения — до 30 июня 2030 года Оборудование типа CD-SEM должно позволять контролировать и измерять размеры элементов, сформированных на поверхности подложек — пластин диаметром 100, 150 и 200 мм Российская разработка, как ожидается, сможет заменить японские установки Hitachi CD-SEM S-9380 и CG4000 Как и в других подобных случаях, критические узлы должны быть отечественными (электронная пушка, электронно-оптическая колонна, рабочая камера, вакуумные насосы, механизм загрузки-выгрузки пластин, центральный контроллер и программное обеспечение) 📸 Скриншот из технической документации Макс | Телеграм