РФЯЦ-ВНИИЭФ разработает автоматизированную установку жидкостного химического травления ...
РФЯЦ-ВНИИЭФ разработает автоматизированную установку жидкостного химического травления полупроводниковых пластин диаметром до 200 мм Информация об исполнителе крупного контракта появилась на сайте госзакупок. Цена вопроса — 1,43 млрд рублей. Работа из четырех этапов должна быть завершена до 30 ноября 2029 года Установка ЖХТ позволяет проводить химическое травление, очистку, промывку и сушку. Оборудование работает с химическими реагентами (HF, H₂SO₄, H₂O₂, HCl, NH₄OH) при температуре до 160°C. Оно способно обрабатывать за цикл до 100 пластин, обеспечивать их автоматическую загрузку и выгрузку с использованием SMIF-загрузчика Равномерность травления по пластине — не более 5%. Функциональными аналогами оборудования являются: Shellback Torrent / Siconnex BATCHSPRAY, Shellback MERCURY™+, а также японская Tokyo Electron ZETA™+ 200) Критические компоненты установки: герметичная процессная камера, ротор, кассетный модуль, узлы спрей-системы подачи реагентов, системы подачи химии, вентиляции и газоочистки, центральный контроллер и программное обеспечение – все это должно быть отечественным (впрочем, по согласования с заказчиком допускается и применение импортных комплектующих) 📸 Скриншот из технической документации Макс | Телеграм