Вышло интервью генерального директора АО «ЗНТЦ» Анатолия Ковалёва в ежегоднике "Живая э...
Вышло интервью генерального директора АО «ЗНТЦ» Анатолия Ковалёва в ежегоднике "Живая электроника России -2026", взял только нашу тематику, опустив общие вопросы перейдём к литографам, материалам и кадрам: Вы создали первый российский литограф. Есть ли у компании дорожная карта его развития. Например, 130-нм техпроцесса? Развитием электронного машиностроения Зеленоградский нанотехнологический центр занимается с 2021 года. В настоящее время осуществляются продажи литографа с разрешением 350 нм, а с 2027 года планируется производство установки совмещения и проекционного экспонирования с разрешением 130 нм. В процессе разработки установка электронно-лучевой литографии с разрешением 150 нм, установка контроля привносимой дефектности поверхности полупроводниковых пластин без топологии с обнаружительной способностью 45 нм. Начата разработка кластерной линии фотолитографии для обработки слоёв фоторезиста в субмикронной DUV литографии при изготовлении СБИС на пластинах Ø 200 мм. Для производства чипов требуются расходные материалы. Как обстоят дела с их производством в РФ? Насколько ЗНТЦ нуждается в импортных материалах? Существующие ограничения и санкции стали основным стимулом для развития российских компетенций и решений в части производства расходных материалов. Российские производители микроэлектроники переходят на отечественных поставщиков материалов и газов, использующихся в микроэлектронном производстве. Большинство расходных материалов, которые мы используем для производства – российские. Зарубежные материалы мы используем, если отечественные аналоги отсутствуют, например проявитель, часть химических реактивов. Что касается фоторезиста, то в настоящее время мы вынуждены использовать продукцию зарубежных производителей. Но в ближайшем будущем планируем провести на нашей площадке апробацию отечественных фоторезистов и в случае успеха будем применять их в своем производственном процессе. Какие кадры потребуются отечественной микроэлектронике в ближайшие годы? Какие меры в связи с этим следует принимать для их формирования и привлечения в отрасль? В ближайшее время для электронной промышленности наиболее востребованными будут инженерные кадры, в том числе конструкторы технологического оборудования, разработчики САПР, инженеры технологи. Наиболее эффективной мерой для формирования необходимого кадрового резерва и привлечения молодых специалистов в микроэлектронику является сотрудничество промышленных предприятий и профильных ВУЗов, совместная разработка образовательных программ, адаптированных под современные условия производства. Как уже было отмечено выше, для решения этой проблемы Зеленоградский Наноцентр активно сотрудничает с техническими ВУЗами. Немаловажную роль играют условия труда. На сегодняшний день в «ЗНТЦ» созданы все условия для профессионального развития молодых специалистов. Зеленоградский Наноцентр – это одно из передовых предприятий, укомплектованное уникальным оборудованием и использующее современные технологии производства микроэлектроники. Макс | Телеграм